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多路氣體質量控制儀

此款產品可以使用三路氣路和混合氣路，也可三路分別供氣單獨使用；

可搭配我公司真空氣氛管式電爐組成CVD系統一起使用。

工作電壓：220V

輸出功率：18W

線性：±0.5~1.5%

準確度：±1.5%FS

重復精度：±0.2%FS

工作溫度：5~45℃

工作壓強：3x106Pa

工作壓差范圍：0.1~0.05Mpa